MEMS의 기하학적 최적 설계 동향

ABSTRACT 2

1.서론 2

2.용량성 마이크로 스위치에서의 최적설계 2
2.1 효과강성계수, Keff 4
2.2 Critical collapse voltage, Vc 5
2.3 복합 브릿지 구조물에서의 effective stiffness constant, Keff 6
2.4 동적 특성 9
2.5 Switching speed 10
2.6 최대 작업 주파수(Maximum working frequency)와 Q-factor 12
2.7 구조물의 최적화 13

3.마이크로 센서 및 마이크로 엑추에이터 에서의 민감도 최적형상 연구 13
3.1 소개 13
3.2 최대 공식(Maximum criteria) 14
3.3 일반적인 가정 15
3.4.고정단 구조물에서 활동영역의 처짐

용량성 마이크로 스위치는 주로 레이더 시스템과 무선 통신에 사용된다. 용량성 마이크로 스위치는 낮은 입출력 손실과 저가의 생산비용의 이점을 가지고 있으며, 기존 핸드폰의 스위치는 배터리가 사용되는 동안 수 밀리 와트(milli-watts)의 전력을 계속 사용하는 것에 비하여 용량성 마이크로 스위치는 핸드폰이동작하는 동안에만 전력을 사용한다는 장점을 가지고 있다. [4-7]이러한 장점 때문에, 핸드폰의 transmit/receive 스위치와 같은 무선통신장치들은 향후 용량성 마이크로 스위치로 대체될 것으로 예상되고 있다.[8] 이러한 용량성 마이크로 스위치의 성능은 Critical collapse voltage, 동특성(switching spped, , Maxiamum working frequency)등의 요인에 의하여 크게 달라진다. 이번 장(Chapter)에서는 단순한 빔(beam)구조물 및 몇가지 복학접인 브릿지(bridge)구조물에서의 기하학적인 조